“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化” 项目顺利通过综合绩效评价验收,这也意味着该项目最终获得国家02专项办的正式验收
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- 发布时间:2020-04-24
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4月15日,由北京中电科公司牵头承担的国家02科技重大专项“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化” 项目顺利通过综合绩效评价验收,这也意味着该项目最终获得国家02专项办的正式验收。
验收会议由02专项办调研员许登超主持,项目各领域技术专家和财务专家一行13人组成专家组进行验收。验收会上,专家组认真听取了承担单位关于项目实施的总结报告,审查了验收资料,进行了现场考察和测试。经过质询和讨论后认为,该项目圆满完成了合同任务书规定的所有研发内容,验收资料齐全,各项技术指标经过用户验证和现场测试,达到合同技术指标考核要求,一致同意通过正式验收!
最后,项目负责人、北京中电科公司总经理王海明代表项目承担单位对专家组、工艺验证单位在项目实施过程中给予的指导和帮助表示衷心感谢,并表示将按照专家组提出的意见和要求,继续做好后续的各项工作。
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