浏览量:
1000
产品描述
参数
关键特点
技术参数
技术特点
●支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●设备配有在线测量仪单元,精确控制减薄厚度;
●配有具有自主产权的8英寸超精密空气主轴;
●粗磨和精磨轨迹重合技术,有效提高减薄加工稳定性,保证加工精度;
●设备通过优化研磨和传输系统参数,可实现100μm以下精密减薄。
性能指标
全自动减薄机 |
WG-8501 |
|
最大加工物尺寸 |
Φ200mm |
|
主轴 |
主轴数量 |
2 |
输出功率 |
5.5 kW |
|
转速 |
1000-6000rpm |
|
Z轴 |
行程 |
120mm |
进给速度 |
0.00001 〜0.08mm/s |
|
最大返回速度 |
50mm/s |
|
分辨率 |
0.1μm |
|
承片台数量 |
3 |
|
工作台转速 |
0-300rpm |
|
减薄精度 |
片内厚度偏差 |
<3μm |
片间厚度偏差 |
<±3μm |
|
表面粗糙度Ra |
<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si) |
|
测量仪 |
测量范围 |
0-1800pm |
分辨率 |
0.1μm |
|
重复精度 |
±0.5μm |
|
其他规格 |
外形尺寸(WxDxH) |
1200mmx2760mmx1950mm |
设备重量 |
≈3800 kg |
关键词:
主轴
设备
精度
jm
厚度
加工
0.1pm
分辨率
转速
推荐设备
如您对产品感兴趣,欢迎给我们留言