WG-6110自动减薄机
同时支持深切缓进给(Creep- -Feed)和轴向进给(In- Feed)磨削原理;可选配全自动上下料系统,设备可由自动减薄设备变为全自动减薄设备;GPP行业应用优势明显;
所属分类:
自动减薄机
关键词:
自动划片机
产品描述
技术特点
●同时支持深切缓进给(Creep- -Feed)和轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●可选配全自动上下料系统,设备可由自动减薄设备变为全自动减薄设备;
●GPP行业应用优势明显;
●高加工效率,4英寸GPP用硅晶圆UPH可达360pcs/h;
●节省空间的设计,占地面积仅为1.01m,兼顾小型化及高性能比。.
性能指标
自动减薄机 |
WG-6110 |
|
最大加工物尺寸 |
Φ156mm |
|
主轴 |
主轴数量 |
1 |
输出功率 |
7.5kW |
|
转速 |
1000-6000rpm |
|
Z轴 |
行程 |
120mm |
进给速度 |
0.00001 ~0.08mm/s |
|
最大返回速度 |
50mm/s |
|
分辨率 |
0.1pm |
|
承片台数量 |
4 (可定制) |
|
工作台转速 |
0-20rpm |
|
减薄精度 |
片内厚度偏差 |
<5μm |
片间厚度偏差 |
<±5μm |
|
表面粗糙度Ra |
<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si) |
|
测量仪 |
测量范围 |
不适用 |
分辨率 |
||
重复精度 |
||
其他规格 |
夕卜形尺寸(WxDxH) |
750mmx1350mmx1750mm |
设备重量 |
≈2000 kg |
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